جلد 11، شماره 1 - ( مجله پژوهش فيزيك ايران، بهار 1390 )                   جلد 11 شماره 1 صفحات 15-25 | برگشت به فهرست نسخه ها


XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Sabzalipour A, Mohammadizadeh M. Thickness and roughness measurements of nano thin films by interference. IJPR. 2011; 11 (1) :15-25
URL: http://ijpr.iut.ac.ir/article-1-653-fa.html
سبزعلی‌پور امیر، محمدی‌زاده محمدرضا. اندازه‌گیری ضخامت و زبری لایه‌های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی. مجله پژوهش فيزيك ايران. 1390; 11 (1) :15-25

URL: http://ijpr.iut.ac.ir/article-1-653-fa.html


دانشگاه تهران
چکیده:   (10867 مشاهده)
بر اساس روش متعارف تداخل نوری، با اندازه‌گیری میزان جابه‌جایی فریزهای تداخلی، ضخامت لایه نازک به دست می‌آید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامت‌های کم و کاهش خطاهای اندازه‌گیری، نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله، رسم می‌شود. با اندازه‌گیری میزان جابه‌جایی فریزهای تداخلی، امکان اندازه‌گیری ضخامت لایه‌های نازک از مرتبه چند نانومتر فراهم می‌شود. همچنین با بهره‌گیری از جابه‌جایی نمودار شدت و استفاده از اعوجاج‌های موجود در نمودار شدت فریزهای تداخلی، زبری سطح نمونه با دقت 2 نانومتر اندازه‌گیری می‌شود. نتایج مقایسه هر دو اندازه‌گیری با روش‌های سنجش مستقیم، حاکی از صحت روش پیشنهاد شده است.
متن کامل [PDF 650 kb]   (5595 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصي

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
کد امنیتی را در کادر بنویسید

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به مجله پژوهش فیزیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2015 All Rights Reserved | Iranian Journal of Physics Research

Designed & Developed by : Yektaweb