جلد 17، شماره 2 - ( مجله پژوهش فيزيك ايران ( مقاله نامه ) 1396 )                   جلد 17 شماره 2 صفحات 197-203 | برگشت به فهرست نسخه ها


XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Bazrafshan G, Rahighi J, Vosoughi N, Seifi O. Design, optimization and construction of a sputter ion pump. IJPR. 2017; 17 (2) :197-203
URL: http://ijpr.iut.ac.ir/article-1-2396-fa.html
بذرافشان غلامرضا، رحیقی جواد، وثوقی ناصر، سیفی امید. طراحی، بهینه سازی و ساخت پمپ کندوپاش یونی. مجله پژوهش فيزيك ايران. 1396; 17 (2) :197-203

URL: http://ijpr.iut.ac.ir/article-1-2396-fa.html


پژوهشگاه دانش‌های بنیادی (IPM) طرح ملی چشمه نور ایران ، bazrafshan@ipm.ir
چکیده:   (779 مشاهده)
این مقاله تأثیر پارامترهای مختلف پمپ کندوپاش یونی را براساس شبیه سازی پلاسما و کندوپاش بررسی می‌کند و سپس فرایند ساخت پمپ کندوپاش یونی بر اساس شبیه سازی صورت گرفته ارائه خواهد شد. انتخاب پارامترها و طراحی پمپ بر اساس محاسبات و شبیه‌سازی‌های میدان‌های الکتریکی و مغناطیسی و چگالی الکترون صورت گرفته است. چگالی الکترون نسبت به تغییرات شعاع سلول، ارتفاع سلول، ولتاژ آند و میدان مغناطیسی محاسبه و بهینه سازی شد. سرعت پمپ از جریان یونی که وابسته به چگالی الکترون است، به همراه بهره کندوپاش و احتمال جذب مولکول‌های گاز تخمین زده شد و بر اساس آن، ابعاد بهینه پمپ یونی که بهترین سرعت پمپاژ را داشته باشد به دست آمد. محاسبات و شبیه سازی‌ها نشان داد که برای ولتاژ 3600 ولت و میدان مغناطیسی 08/0 تسلا، سلول آند با شعاع 8 میلی‌متر و فاصله آند و کاتد برابر با 7 میلی‌متر می‌توان بیشترین سرعت پمپاژ را انتظار داشت. سپس فرایند ساخت پمپ یونی بر اساس داده‌های انتخاب شده از شبیه‌سازی و با انتخاب مواد مناسب و همچنین با تمیزکاری و پخت مناسب انجام گرفت. در پایان پس از انجام آزمایش‌های صورت گرفته، داده‌های شبیه‌سازی با داده‌های تجربی مقایسه گردید.
متن کامل [PDF 662 kb]   (124 دریافت)    

 
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصي

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
کد امنیتی را در کادر بنویسید

ارسال پیام به نویسنده مسئول


کلیه حقوق این وب سایت متعلق به مجله پژوهش فیزیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2015 All Rights Reserved | Iranian Journal of Physics Research

Designed & Developed by : Yektaweb