@article { author = {Beigmohammadi, N and Mirjalili, Gh and Maleki, H}, title = {Production of TiO2-SnO2 nano structural thin films prepared by electron beam and sol-gel methods as ethanol sensor}, journal = {Iranian Journal of Physics Research}, volume = {18}, number = {2}, pages = {235-242}, year = {2019}, publisher = {Isfahan University of Technology, The Physics Society of Iran}, issn = {1682-6957}, eissn = {2345-3664}, doi = {10.29252/ijpr.18.2.235}, abstract = {Nanostructured TiO2-SnO2 thin-film ethanol sensors have been fabricated on glass substrates using electron beam and sol-gel methods. The surface structure, morphology and optical transmission characteristics of the films were analyzed by X ray diffraction, scanning electron microscopy and UV/VIS/NIR spectrometry. The TiO2-SnO2 films were less than 300 nm thick and consisted of nanocrystallines about 20 nm and 33nm for electron beam and sol-gel methods respectively. The sensing characteristics of TiO2-SnO2 nano structure thin film in electron beam and sol-gel methods, in the flow rate of ethanol at 1800, 2000 and 2400 cc/min at the operating temperature of 200˚C were measured.}, keywords = {TiO2-SnO2 nano structure thin film,Electron beam evaporation,sol gel,ethanol sensor}, title_fa = {ساخت لایه های نازک نانو ساختارTiO2-SnO2 تهیه شده به روش های باریکه الکترونی و سل ژل به عنوان حسگر اتانول}, abstract_fa = {لایه های نازک نانوساختار 2-SnO2 TiOبروی زیرلایه شیشه به روش های باریکه الکترونی و سل ژل ساخته شدند. خواص ساختاری سطح، مورفولوژی و عبوراپتیکی لایه ها توسط پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی و اسپکترومتر UV/VIS/NIR انجام پذیرفت. ضخامت لایه های نازک کمتر از 300 نانومتر اندازه گیری گردید. اندازه دانه ها در روش باریکه الکترونی 20 و در روش سل ژل 30 نانومتر تخمین زده شد. خواص حسگری لایه های نازک نانوساختار در حضور گاز اتانول با آهنگ شارش cc/min 2400، 2000 و 1800 دمای 200درجه سانتیگراد بررسی گردید.}, keywords_fa = {لایه نازک نانوساختار TiO2-SnO2,باریکه الکترونی,سل ژل,حسگر اتانول}, url = {https://ijpr.iut.ac.ir/article_1353.html}, eprint = {https://ijpr.iut.ac.ir/article_1353_62b3f6506f6d6fcfa2fc1de44194de23.pdf} }