%0 Journal Article %T بررسی اثر پالس بر خواص ساختاری و اپتیکی لایه‌های نازک اکسید مولیبدن در ‌لایه‌نشانی به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا (HiPIMS) %J مجلۀ پژوهش فیزیک ایران %I انجمن فیزیک ایران ناشر: دانشگاه صنعتی اصفهان %Z 1682-6957 %A نجفی آشتیانی, حامد %D 2019 %\ 11/26/2019 %V 18 %N 3 %P 427-435 %! بررسی اثر پالس بر خواص ساختاری و اپتیکی لایه‌های نازک اکسید مولیبدن در ‌لایه‌نشانی به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا (HiPIMS) %K کندوپاش مغناطیسی %K لایه نازک %K اکسید مولیبدن %K خواص اپتیکی %R 10.29252/ijpr.18.3.427 %X در این تحقیق لایه­ های نازک اکسید مولیبدن به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا در پالس ­های مختلف با طول 60، 90، 120، 150 و 180 میکروثانیه بر روی زیرلایه ­های شیشه ­ای در ترکیبی از گازهای واکنشی و غیرواکنشی با نسبت O2/Ar= 0.66 ‌لایه‌نشانی شده‌اند و مورد مطالعه ساختاری و اپتیکی قرار گرفته ­اند. ترکیب شیمیایی این اکسیدهای فلزی با آنالیز طیف­ سنجی فوتوالکترون پرتوی‌ ایکس (XPS) تعیین و به صوررت MoOx با x های مختلف مشخص شدند. با بررسی خواص اپتیکی مشخص گردید که نقصان اکسیژن در پالس­ه ای طولانی­ تر موجب کاهش متوسط عبور اپتیکی و همچنین کاهش گاف نوار اپتیکی لایه ­ها می­شود. %U https://ijpr.iut.ac.ir/article_1372_655fec4ccdf7bc54d1aa20da55ac91b8.pdf