%0 Journal Article %T استفاده از روش جذب تشدیدی برای اندازه‌گیری چگالی اتم‌های مس در لایه نشانی به روش کندوپاش پلاسمایی %J مجلۀ پژوهش فیزیک ایران %I انجمن فیزیک ایران ناشر: دانشگاه صنعتی اصفهان %Z 1682-6957 %A نقش‌آرا, حمید %A سبحانیان, صمد %A صادقی, نادر %D 2019 %\ 11/26/2019 %V 11 %N 1 %P 55-61 %! استفاده از روش جذب تشدیدی برای اندازه‌گیری چگالی اتم‌های مس در لایه نشانی به روش کندوپاش پلاسمایی %K اسپکتروسکوپی جذبی تشدیدی %K کند و پاش پلاسمایی %R %X در این مقاله چگالی اتم‌های مس که به عنوان هدف انتخاب شده است با روش طیف نگاری جذبی تشدیدی برای فشارهای مختلف گاز کاری و توان‌های مختلف منبع تغذیه سیستم پلاسما اندازه‌گیری شده است. به عنوان منبع نور برای طیف نگاری جذبی تشدیدی از یک لامپ کاتد توخالی مس (Cu hollow cathode lamp) استفاده شده است. ضمنا با اضافه کردن درصد مناسبی از نیتروژن به گاز کاری آرگون با استفاده از طیف دورانی مولکول نیتروژن و با بهره‌گیری از یک برنامه کامپیوتری مناسب دمای گاز به دست آمده است. %U https://ijpr.iut.ac.ir/article_910_ffb84fb1aeb4d4145bb541e57e0c7e33.pdf