TY - JOUR ID - 730 TI - شبیه‌سازی اثرات نوع آلایش و چگالی جریان در رشد سیلیکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود JO - مجلۀ پژوهش فیزیک ایران JA - IJPR LA - fa SN - 1682-6957 AU - مینائی فرد, سکینه AU - ثابت داریانی, رضا AD - Y1 - 2019 PY - 2019 VL - 8 IS - 4 SP - 241 EP - 248 KW - سیلیکان متخلخل KW - انبوهش پخش محدود KW - شبیه‌سازی KW - ضریب چسبندگی KW - میدان متوسط DO - N2 -   هدف از این مقاله وارد کردن اصلاحاتی به مدل انبوهش پخش محدود می‌باشد که بتواند اثرات نوع آلایش و چگالی جریان را درشکل ساختارهای به‌دست آمده طی رشد سیلیکان متخلخل شبیه‌سازی کند. برای تأثیر نوع آلایش, ضریب چسبندگی و برای تأثیر چگالی جریان, پارامتر میدان متوسط را به مدل انبوهش پخش محدود اعمال کردیم. نتایج شبیه‌سازی نشان می‌دهند که پارامتر ضریب چسبندگی در کنترل ضخامت خلل مؤثر است در حالی‌که پارامتر میدان متوسط ویژگی درختی یا میله‌ای بودن خلل را کنترل می‌کند. نتایج آن بر روی شبیه‌سازی رشد سیلیکان متخلخل, نشان داد اصلاحات اعمال شده با تأثیر این دو پارامتر در شکل ساختارهای شبیه سازی شده با نتایج نمونه‌های تجربی به‌دست آمده توافق و سازگاری دارند. UR - https://ijpr.iut.ac.ir/article_730.html L1 - https://ijpr.iut.ac.ir/article_730_03fda18944e5d5e61cea85a3ee5a8193.pdf ER -