TY - JOUR ID - 881 TI - نانوحسگرهای گازی بر اساس نانوحفره‌های آلومینای ساخته شده به روش آندیزاسیون سخت برای حسگری رطوبت در دمای اتاق JO - مجلۀ پژوهش فیزیک ایران JA - IJPR LA - fa SN - 1682-6957 AU - زارعی, مجید AU - الماسی‌کاشی, محمد AU - رمضانی, عبدالعلی AU - ترکاشوند, غفار AD - دانشگاه کاشان Y1 - 2019 PY - 2019 VL - 10 IS - 3 SP - 219 EP - 228 KW - نانو حسگر KW - آلومینای حفره دار KW - آندیزاسیون سخت DO - N2 - نانوحسگرهای رطوبت بر اساس نانو حفره‌های آلومینا به روش جدید آندیزاسیون سخت مطالعه شد. برای بررسی اثر میزان آنیون‌های اسیدی موجود در قسمت‌های مختلف آلومینا بر حساسیت نانوحسگر، دو نوع حسگر دیواره و لایه سدی در دو چگالی جریان متفاوت با ولتاژهای آندیزاسیون 38 و 44 ولت ساخته شد. اثر فرکانس در بازه 3 تا 40 کیلوهرتز در ولتاژهای مختلف و در دامنه‌های رطوبت نسبی 40 تا 90 درصد بر حساسیت و زمان‌های پاسخ و بازیافت نانو حسگرها به روش طیف سنجی امپدانس در دمای اطاق بررسی شده است. نشان داده شد که حسگرهای لایه سدی و حسگرهای ساخته شده با جریان آندیزاسیون بالاتر، دارای حساسیت بیشتری می‌باشند. همچنین مشاهده شد که حساسیت با فرکانس نسبت عکس داشته و تغییر ولتاژ اعمالی به حسگر اثری بر حساسیت آن ندارد. UR - https://ijpr.iut.ac.ir/article_881.html L1 - https://ijpr.iut.ac.ir/article_881_95d6c37e7cec7da60f2284cbdf9ce44b.pdf ER -