انجمن فیزیک ایران مجلۀ پژوهش فیزیک ایران 1682-6957 13 4 2019 11 26 The effect of different oxide layers on the sensing properties of anodic alumina nanoporous film تأثیر لایه‌های مختلف اکسید بر خواص حسگری فیلم آلومینای آندی نانوحفره‌دار 341 346 1051 FA حامد عباسیان محمد الماسی کاشی عبدالعلی رمضانی علی خیاطیان Journal Article 2019 11 26 In the present work, anodized aluminum oxide template was prepared by accelerated mild anodization technique in 0.6M phosphoric aside and 175 V, anodization voltage. Pore widening was performed by chemical etching in 0.5M phosphoric acid for 8, 16, 32, 40 minutes. Scanning Electron Microscopy (SEM) images showed the pores, diameter exponentially increases with etching time. By depositing silver contacts on the prepared samples and using an RC circuit for applying impedance spectroscopy, the characteristics of the humidity sensor based on constructed samples were investigated. The maximum response was seen for the sample etched for 40 minutes. For this sample, the detectable threshold of relative moisture was 30% and the response and the recovery time were 8, 2 seconds, respectively در کار حاضر، قالب اکسید آلومینیوم آنده شده به وسیله روش آنده نرم شتاب‌دار و در اسید فسفریک 6/0 مولار و با ولتاژ آنده 175 ولت ساخته شد. قطر حفره‌ها توسط سونش شیمیایی نمونه‌ها در اسید فسفریک 5/0 مولار و در مدت زمان‌های مختلف 8، 16، 32 و 40 دقیقه افزایش داده شد. بررسی تصاویر میکروسکوپ‌ الکترونی نشان داد که قطر حفره‌ها با زمان سونش به صورت نمایی افزایش می‌یابد. با لایه نشانی الکترودهای نقره روی نمونه‌ها و سپس با استفاده از یک مدار RC برای طیف سنجی امپدانسی، مشخصات حسگری نمونه‌های ساخته شده نسبت به رطوبت مورد بررسی قرار گرفت. اندازه‌گیری‌ها نشان داد که بیشترین میزان پاسخ حسگری نسبت به رطوبت مربوط به حسگر شاخته شده توسط نمونه با 40 دقیقه سونش می‌باشد. برای این حسگر آستانه رطوبت نسبی قابل آشکار سازی 30 درصد و زمان پاسخ و بازیافت به ترتیب 8 و 2 ثانیه بود. https://ijpr.iut.ac.ir/article_1051_456ac9b0d15a8b7f1e71073221059886.pdf