انجمن فیزیک ایران مجلۀ پژوهش فیزیک ایران 1682-6957 16 1 2019 11 26 Design and simulation of pressuresensor and accelerometer based on integrated optical circuits using photoelastic effect of LiNbO3 طراحی و شبیه‌سازی فشار‌سنج و شتاب‌سنج مبتنی بر مدارات مجتمع نوری با استفاده از اثر فوتوالاستیسیته لیتیوم نیوبات 45 53 1176 10.18869/acadpub.ijpr.16.1.45 FA ندا جودی . مجتمع برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران رضا اسدی . مجتمع برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران پیام حیدری . دانشکده مکانیک، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد رودهن مریم گنجی . مجتمع برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران Journal Article 2019 11 26 In this paper a novel optical pressure and acceleration sensor based on micro electro mechanical systems (MEOMS) has been designed. For this purpose an integrated Mach- Zander interferometer has been used in LiNbO3 diaphragm. In this sensor, the strain caused by applied pressure or acceleration leads to a change in refractive index of the wave guide in the diaphragm due to the photoelastic effect. The refractive index change leads to a phase change in the light wave that propagates in the waveguide. This phase change is converted to intensity change using the Mach- Zander interferometer. The software ANSYS 14.5 was used for calculation of the strain in the diaphragm. The pressure and acceleration sensitivity of the designed sensor have been obtained 2.33×10-4 (rad /Pa) and 2.16×10-5 (rad.s2/m), respectively.  در این مقاله فشارسنج و شتاب‌سنج نوری جدیدی مبتنی بر ادوات میکروالکترواپتومکانیک با استفاده از تداخل‌سنج ماخ‌- زندر مجتمع در دریچه لیتیوم نیوبات طراحی شده است. در این حسگر با اعمال فشار و شتاب، دریچه دچار کرنش می‌شود و به علت اثر فوتوالاستیسیته تغییرات ضریب شکست در موج‌بر نوری واقع در دریچه ایجاد می‌شود. تغییر ضریب شکست، باعث تأخیر فاز نور منتشر شده در موج‌بر گردیده و این تغییر فاز توسط تداخل‌سنج ماخ‌- زندر، به تغییرات شدت نور تبدیل می‌شود، برای محاسبه تنش ایجاد شده در دریچه از نرم‌افزار 5/14 ANSYS استفاده شد و حساسیت فشارسنج و شتاب‌سنج طراحی شده به ترتیب (rad/Pa)4-10×33/2 و (rad.s2/m)5-10×16/2به‌ دست آمد. https://ijpr.iut.ac.ir/article_1176_a7d8ae4569120b5bec12e7b6e9648b86.pdf