انجمن فیزیک ایران مجلۀ پژوهش فیزیک ایران 1682-6957 23 1 2023 05 22 Improving corrosion resistance of aluminum by zirconium carbide thin films بهبود مقاومت به خوردگی آلومینیوم توسط لایه‌های نازک کربید زیرکونیوم 167 175 3376 10.47176/ijpr.23.1.91579 FA علی حیدرنیا پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهید بهشتی، تهران حمیدرضا قمی پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهید بهشتی، تهران Journal Article 2022 09 23 In this paper, zirconium carbide (ZrC) thin films were deposited on glass and aluminum substrates using DC magnetron sputtering. It was found that different ratios of acetylene gas (C<sub>2</sub>H<sub>2</sub>, as a reactive gas) in the gas mixture of acetylene and argon (Ar, as a sputtering gas) affect the microstructural properties, corrosion behavior, and protection efficiency of ZrC thin films. X-ray diffraction (XRD) was used to characterize the microstructural properties of thin films. The corrosion behavior of thin films in a 3.5% NaCl solution was evaluated by potentiodynamic polarization tests and electrochemical impedance spectroscopy (EIS). FESEM was also employed to examine thin films' surface morphology and thickness. در این مقاله، لایه‌های نازک کربید زیرکونیوم (ZrC) با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی بر روی زیرلایه‌های آلومینیوم و شیشه تولید شدند. از مطالعۀ نسبت‌های مختلف گاز استیلن (C<sub>2</sub>H<sub>2</sub>، گاز واکنشی) در مخلوط گازی استیلن و آرگون (گاز کندوپاشی) مشخص شد این نسبت تأثیر بسزایی در خواص میکروساختاری و رفتار خوردگی لایه‌های نازک کربید زیرکونیوم و در نتیجه بهبود مقاومت به خوردگی آلومینیوم دارد. برای شناسایی خواص میکروساختاری لایه‌های نازک ZrC از پراش پرتو ایکس (XRD)  استفاده شد. به منظور بررسی رفتار خوردگی این پوشش‌ها، از آزمون پلاریزاسیون پتانسیودینامیکی و آزمون طیف سنجی امپدانس الکتروشیمیایی در محلول 5/3 درصد NaCl بهره گرفته شد. همچنین از میکروسکوپ الکترونی روبشی به منظور بررسی ریخت‌شناسی سطح و ضخامت پوشش‌ها استفاده شد‏. خوردگی پلاریزاسیون پتانسیودینامیکی کربید زیرکونیوم لایۀ نازک کندوپاش مغناطیسی https://ijpr.iut.ac.ir/article_3376_14e422f05b68cc0139988e128ee880df.pdf