جلد 4، شماره 2 - ( 3-1383 )                   جلد 4 شماره 2 صفحات 103-108 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Fabrication and study of carbon nanotube by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). IJPR. 2004; 4 (2) :103-108
URL: http://ijpr.iut.ac.ir/article-1-116-fa.html
فرید ناصح نیا ، بهرام گنجی پور ، ابراهیم یوسف نژاد ، سید شمس الدین مهاجرزاده ، سید امیر‌مسعود میری ، عزت‌الله ارضی . ساخت نانولوله‌های کربنی چند دیواره به روش انباشت بخار شیمیایی پلاسمایی (PECVD) و بررسی نقش کاتالیزور و دما و مدت زمان آزمایش بر رشد نانولوله‌ها. مجله پژوهش فيزيك ايران. 1383; 4 (2) :103-108

URL: http://ijpr.iut.ac.ir/article-1-116-fa.html


چکیده:   (19083 مشاهده)
پس از کشف نانولوله های کربنی در سال 1991, برای اولین بار در ایران گروه ما موفق به رشد نانولوله های کربنی بر روی زیر لایه های سیلیکان لایه نشانی شده با کبالت در دمای 800?C و به روش انباشت بخار شیمیایی پلاسمایی (PECVD) شد. در این روش گازهای اتیلن(C2H4) با فلوی sccm 30 به عنوان منبع تامین کربن و نیتروژن (N2) با فلوی 15sccm به عنوان رقیق کننده استفاده شده است. در اینجا یک لایه نازک کبالت نقش کاتالیزور را به عهده دارد و نقش آن به عنوان اصلی ترین عامل در رشد نانولوله ها نشان داده شده است. همچنین نقش دما به عنوان دیگر عامل تعیین کننده بررسی شده است. در نهایت تصاویر SEM گرفته شده از نمونه هایی که با زمانهای متفاوت در معرض فلوی گاز قرار گرفته اند نشان دهنده رشد نانولوله ها با طولهایی وابسته به زمان آزمایش می باشد و این در حالی است که قطر آنها به قطر جایگاههای نانومتری روی سطح کاتالیزور بستگی دارد که آن هم به نوبه خود به ضخامت لایه کاتالیزور وابسته است.
متن کامل [PDF 2015 kb]   (3678 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصي

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به مجله پژوهش فیزیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2019 All Rights Reserved | Iranian Journal of Physics Research

Designed & Developed by : Yektaweb