جلد 18، شماره 3 - ( مجله پژوهش فيزيك ايران، پاييز 1397 )                   جلد 18 شماره 3 صفحات 427-435 | برگشت به فهرست نسخه ها


XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Najafi-Ashtiani H. Investigation of pulse width effect on structural and optical properties of molybdenum oxide thin films deposited by HiPIMS. IJPR. 2018; 18 (3) :427-435
URL: http://ijpr.iut.ac.ir/article-1-2543-fa.html
نجفی آشتیانی حامد. بررسی اثر پالس بر خواص ساختاری و اپتیکی لایه‌های نازک اکسید مولیبدن در ‌لایه‌نشانی به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا (HiPIMS) . مجله پژوهش فيزيك ايران. 1397; 18 (3) :427-435

URL: http://ijpr.iut.ac.ir/article-1-2543-fa.html


دانشکده علوم پایه، دانشگاه ولایت، ایرانشهر ، h.najafi@velayat.ac.ir
چکیده:   (1321 مشاهده)
در این تحقیق لایه­ های نازک اکسید مولیبدن به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا در پالس ­های مختلف با طول 60، 90، 120، 150 و 180 میکروثانیه بر روی زیرلایه ­های شیشه ­ای در ترکیبی از گازهای واکنشی و غیرواکنشی با نسبت O2/Ar= 0.66 ‌لایه‌نشانی شده‌اند و مورد مطالعه ساختاری و اپتیکی قرار گرفته ­اند. ترکیب شیمیایی این اکسیدهای فلزی با آنالیز طیف­ سنجی فوتوالکترون پرتوی‌ ایکس (XPS) تعیین و به صوررت MoOx با x های مختلف مشخص شدند. با بررسی خواص اپتیکی مشخص گردید که نقصان اکسیژن در پالس­ه ای طولانی­ تر موجب کاهش متوسط عبور اپتیکی و همچنین کاهش گاف نوار اپتیکی لایه ­ها می­شود.
متن کامل [PDF 405 kb]   (291 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: لایه های نازک

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA

ارسال پیام به نویسنده مسئول


کلیه حقوق این وب سایت متعلق به مجله پژوهش فیزیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2019 All Rights Reserved | Iranian Journal of Physics Research

Designed & Developed by : Yektaweb