نویسندگان
چکیده
در این مقاله مشخصههای اپتیکی لایههای نازک در حین فرایند لایه نشانی در خلاء بوسیله یک روش نسبتاً ساده اندازهگیری میشود. در این روش پیشنهادی با استفاده از نسبت مقدار سیگنال کمینه ضریب عبور (Ti) به مقدار بیشینه آن (Ta) یعنی Gt=1min/1max=Ti/Ta از طریق روابط فرنل بدون اندازهگیری مستقیم ضریب عبور میتوان دیگر کمیتهای مورد نیاز از قبیل ضریب شکست ماده و یا ضریب بازتاب در فصل مشترک لایه ـ زیر لایه را بدست آورد. این روش برای تعیین مشخصههای اپتیکی مواد As2S3 , Na3AIF6 , PbF2 , MgF2 , ZnS انجام گردید. نتایج حاصل با نتایج روش طیف نور سنجی مقایسه شد و سازگاری خوبی تا دو رقم اعشار بدست آمد. کاربرد این روش برای ساخت سیستمهای چند لایهای حساب به نور ارائه میشود.
عنوان مقاله [English]
Determination of the optical parameters of thin films during the process of coating in vacuum without direct measurement of the coefficients of reflection or transmission
نویسندگان [English]
- A. P. ovcharenko
- A. Nahal
- S. U. Mashkina
- E. I. Plauskaya
- E. A. Lupashko