نویسندگان

چکیده

در این مقاله چگونگی طراحی و ساخت آینه هایی با بازتابندگی متغیر توضیح داده می شود. برای ساختن چنین آینه هایی از یک ماسک ثابت با سوراخ دایره ای استفاده شده است. برای توصیف فرآیند لایه نشانی, روزنه ماسک لایه نشانی به صورت یک چشمه گسترده در نظر گرفته شده است. تابع توزیع ذرات از این روزنه به صورتcosx(θ) توصیف می شود که x پارامتر تابع توزیع ذرات است. پس از مشخص شدن پارامتر x توسط آزمایش, نمودارهایی را می توان رسم کرد که این نمودارها پارامترهای ماسک لایه نشانی را به پارامترهای نمایه لایه نشانده شده روی بستره مربوط می کنند. با استفاده از این نمودارها انواع مختلفی از آینه ها با نمایه ضخامت دلخواه را می توان تولید کرد. در قسمت پایانی این مقاله اثرات خطای اندازه گیری ضخامت لایه ها بر فاز بازتابش و تراگسیل آینه ها مورد بررسی قرار گرفته است.

کلیدواژه‌ها

عنوان مقاله [English]

Design and fabrication of optical thin film layers with variable thickness profile for producing variable reflectivity mirrors

نویسندگان [English]

  • Hamid R fallah
  • A. Mobasheri
  • H. Saghafifar

چکیده [English]

  The design method and fabrication of mirrors with variable reflectivity are presented. To fabricate such a mirror a fixed mask with a circular aperture is used. The circular aperture is considered as an extended source with cosx(θ)as its diffusion distribution function and is the parameter for the distribution function of the particles through the aperture. The thickness profile of deposited layer is a function of this distribution. In this work, the coating system is calibrated for the materials which are used and then the parameter of the diffusion distribution function of the particles through the circular aperture is defined by experiments. Using these results, a graph is presented which connects the parameter of the circular aperture to the parameters of the thickness profile. It is then possible to deposit any type of variable reflectivity mirror using this graph. Finally, the effect of the uncertainty in measuring layer thicknesses on the phase of reflected wave and transmitted wave is investigated.

کلیدواژه‌ها [English]

  • optical thin film
  • variable reflectivity mirrors

تحت نظارت وف بومی