نویسندگان

• امیر سبزعلی‌پور
• محمدرضا محمدی‌زاده

دانشگاه تهران

چکیده

بر اساس روش متعارف تداخل نوری، با اندازه‌گیری میزان جابه‌جایی فریزهای تداخلی، ضخامت لایه نازک به دست می‌آید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامت‌های کم و کاهش خطاهای اندازه‌گیری، نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله، رسم می‌شود. با اندازه‌گیری میزان جابه‌جایی فریزهای تداخلی، امکان اندازه‌گیری ضخامت لایه‌های نازک از مرتبه چند نانومتر فراهم می‌شود. همچنین با بهره‌گیری از جابه‌جایی نمودار شدت و استفاده از اعوجاج‌های موجود در نمودار شدت فریزهای تداخلی، زبری سطح نمونه با دقت 2 نانومتر اندازه‌گیری می‌شود. نتایج مقایسه هر دو اندازه‌گیری با روش‌های سنجش مستقیم، حاکی از صحت روش پیشنهاد شده است.

کلیدواژه‌ها

• لایه‌های نانومتری
• ضخامت لایه‌های نازک
• زبری سطوح شفاف

عنوان مقاله [English]

Thickness and roughness measurements of nano thin films by interference

نویسندگان [English]

• A Sabzalipour
• MH Mohammadizadeh

چکیده [English]

In the standard optical interference fringes approach, by measuring shift of the interference fringes due to step edge of thin film on substrate, thickness of the layer has already been measured. In order to improve the measurement precision of this popular method, the interference fringes intensity curve was extracted and analyzed before and after the step preparation. By this method, one can measure a few nanometers films thickness. In addition, using the interference fringes intensity curve and its fluctuations, the roughness of surface is measured within a few nanometers accuracy. Comparison of our results with some direct methods of thickness and roughness measurements, i.e. using surface profilemeter and atomic force microscopy confirms the accuracy of the suggested improvements.

کلیدواژه‌ها [English]

• nano layers
• thickness measurement
• roughness
• optical interference