نویسندگان

• رضا ثابت داریانی
• صبا خدیویان آذر

دانشگاه الزهرا

چکیده

در این مدل شبیه سازی از روش رو نشست با زاویه مایل و گام‌های تصادفی مونت کارلو استفاده شده است. مدل به کار رفته رشد، رونشست بالستیک (BD) می‌باشد. شار ذرات فرودی تحت زاویه‌ای نسبت به عمود بر سطح به سمت زیرلایه فرود می‌آیند. دو عامل فیزیکی خود سایه اندازی و محدودیت در تحرک‌پذیری ذرات فرودی باعث می‌شود که ساختارهای حاصل از این روش به صورت ستون‌های مجزا با اشکال مختلف، که با فضاهای خالی از هم جدا شده‌اند، در جهت فرود ذرات رشد یابند. ذره رونشست شده، اتم مس می‌باشد. مدل شبیه سازی، شامل شبکه fcc با شرایط مرزی تناوبی است. برخی پارامترها از جمله زاویه ستون‌ها، مورفولوژی ساختار، چگالی و ناهمواری سطح را بررسی نمودیم. موفولوژی ساختارها تحت زاویه مایل به صورت ستونی رشد یافته و با افزایش زاویه فرود، سایه اندازی بیشتر و تخلخل افزایش پیدا می‌کند. چگالی ساختار و ناهمواری فصل مشترک نیز با افزایش زاویه فرود ذرات افزایش می‌یابد.

کلیدواژه‌ها

• سایه اندازی
• مورفولوژی
• چگالی ساختار
• ناهمواری سطح

عنوان مقاله [English]

Growth simulation of Cu columnar structures under oblique angle deposition and Monte Carlo random walks

نویسندگان [English]

• R S Dariani
• S Kadivian Azar

چکیده [English]

In this simulation model, oblique angle deposition method and Monte Carlo random walks have been used. Growth model was ballistic deposition (BD). Incident particles flux comes to substrate at an angle with respect to normal. Two physical factors including self-shadowing and mobility limitation of incident particles make structures similar to independent columns with different shapes and separated with voids, grow in the incident particles direction. Some parameters such as columns angle, structural morphology, density, and surface roughness are studied. Structural morphology under oblique angle is grown columnar and with an increase in the incident angle, shadowing and porosity increase. Density and interface roughness increase by increasing the incident angle, as well.

کلیدواژه‌ها [English]

• shadowing
• morphology
• structure density
• surface roughness