نویسندگان
چکیده
سیلیکان متخلخل (PS) بر اثر آندیزاسیون الکتروشیمیایی روی ویفر سیلیکان به وجود می آید. تاکنون تحقیقات فراوانی درباره چگونگی تشکیل این ماده و خواص نوری آن به ویژه فوتولومینسانس (PL) انجام شده, اما هنوز سازوکار دقیق آنها شناخته نشده است. در این مقاله ابتدا نظریه پراکندگی نور از سطوح ناهموار تصادفی و سپس انعکاس و پراکندگی, جذب و عبور نور از PS بررسی می شود و سرانجام کارهای عملی انجام شده بر روی نمونه هایی که ساخته ایم و مقایسه آنها با نظریه پراکندگی ارایه می شود.
کلیدواژه‌ها
عنوان مقاله [English]
Scattering characteristics from porous silicon
نویسندگان [English]
- R. Sabet-Dariani
- A. Morteza Ali & H Nurani
چکیده [English]
Porous silicon (PS) layers come into existance as a result of electrochemical anodization on silicon. Although a great deal of research has been done on the formation and optical properties of this material, the exact mechanism involved is not well-understood yet. In this article, first, the optical properties of silicon and porous silicon are described. Then, previous research and the proposed models about reflection from PS and the origin of its photoluminescence are reveiwed. The reflecting and scattering, absorption and transmission of light from this material, are then investigated. These experiments include,different methods of PS sample preparation their photoluminescence, reflecting and scattering of light determining different characteristics with respect to Si bulk.
کلیدواژه‌ها [English]
- reflection
- scattering
- porous silicon
- rough surface
)