نویسندگان

چکیده

در کار حاضر، قالب اکسید آلومینیوم آنده شده به وسیله روش آنده نرم شتاب‌دار و در اسید فسفریک 6/0 مولار و با ولتاژ آنده 175 ولت ساخته شد. قطر حفره‌ها توسط سونش شیمیایی نمونه‌ها در اسید فسفریک 5/0 مولار و در مدت زمان‌های مختلف 8، 16، 32 و 40 دقیقه افزایش داده شد. بررسی تصاویر میکروسکوپ‌ الکترونی نشان داد که قطر حفره‌ها با زمان سونش به صورت نمایی افزایش می‌یابد. با لایه نشانی الکترودهای نقره روی نمونه‌ها و سپس با استفاده از یک مدار RC برای طیف سنجی امپدانسی، مشخصات حسگری نمونه‌های ساخته شده نسبت به رطوبت مورد بررسی قرار گرفت. اندازه‌گیری‌ها نشان داد که بیشترین میزان پاسخ حسگری نسبت به رطوبت مربوط به حسگر شاخته شده توسط نمونه با 40 دقیقه سونش می‌باشد. برای این حسگر آستانه رطوبت نسبی قابل آشکار سازی 30 درصد و زمان پاسخ و بازیافت به ترتیب 8 و 2 ثانیه بود.

کلیدواژه‌ها

عنوان مقاله [English]

The effect of different oxide layers on the sensing properties of anodic alumina nanoporous film

نویسندگان [English]

  • H. Abbasian
  • M. Almasi Kashi
  • A. Ramezani
  • A. Khayatian

چکیده [English]

In the present work, anodized aluminum oxide template was prepared by accelerated mild anodization technique in 0.6M phosphoric aside and 175 V, anodization voltage. Pore widening was performed by chemical etching in 0.5M phosphoric acid for 8, 16, 32, 40 minutes. Scanning Electron Microscopy (SEM) images showed the pores, diameter exponentially increases with etching time. By depositing silver contacts on the prepared samples and using an RC circuit for applying impedance spectroscopy, the characteristics of the humidity sensor based on constructed samples were investigated. The maximum response was seen for the sample etched for 40 minutes. For this sample, the detectable threshold of relative moisture was 30% and the response and the recovery time were 8, 2 seconds, respectively

کلیدواژه‌ها [English]

  • alumina nanoporous
  • humidity sensor
  • chemical etch
  • impedance spectroscopy
  • response

تحت نظارت وف بومی