اثر زمان انباشت در تغییر ساختار نانوذرات نقره ساخته شده در بستری از کربن شبه‌الماسی به‌ روش RF-PECVD

عبدالقادری, سنور; شفیع‌خانی, عزیزاله

اثر زمان انباشت در تغییر ساختار نانوذرات نقره ساخته شده در بستری از کربن شبه‌الماسی به‌ روش RF-PECVD

نویسندگان

سنور عبدالقادری ¹

عزیزاله شفیع‌خانی ²

¹ آزمایشگاه کربن، گروه فیزیک، دانشگاه الزهرا، تهران

² آزمایشگاه کربن، گروه فیزیک، دانشگاه الزهرا، تهران آزمایشگاه کربن، پژوهشکده فیزیک، پژوهشگاه دانش‌های بنیادی، تهران

چکیده

نانوذرات نقره در بستری از لایه‌های کربن شبه‌الماسی به روش لایهنشانی همزمان کندوپاش با امواج رادیویی و انباشت شیمیایی بخار، به کمک پلاسما و با استفاده از گاز عامل استیلن و هدف نقره ساخته شد. از آنجا که شرایط ساخت، همچون فشار اولیه و توان منبع امواج رادیویی ثابت نگه‌ داشته شده بود، با تغییر زمان انباشت تغییر فازی در نوع دانه‌بندی، خواص الکتریکی و اپتیکی این لایه‌ها مشاهده شد که مورد تجزیه و تحلیل قرار گرفته است.

کلیدواژه‌ها

نانوذرات نقره

انباشت بخار شیمیایی به کمک پلاسما

خواص الکتریکی و اپتیکی

عنوان مقاله English

Effect of deposition time on structure of silver nanoparticles embedded in diamond-like carbon matrix made by RF-PECVD method

نویسندگان English

S Abdolghaderi ¹

A Shafiekhani ²

چکیده English

Silver nanoparticles embedded in DLC matrix, were prepared by co-deposition of RF-Sputtering and RF-PECVD method from acetylene gas and sliver target. The RF power and initial pressure of chamber were fixed. Variations of morphology, optical and electrical properties of these films over time were investigated

کلیدواژه‌ها English

silver nanoparticles

RF-PECVD

optical and electrical properties

1. S Hussain, R K Roy, and A K Pal, Materials Chemistry and Physics 99 (2006) 375.
2. J Robertson, Materials Science and Engineering R 37 (2002) 129.
3. T Ghodselahi, M A Vesaghi, A Shafiekhani, A Baradaran, A Karimi, and Z Mobini, Surface and Coating Technology 202 (2008) 2731.
4. M F Al-Kulhaili, J. Phys. D: App. Phys. 40 (2007) 2847.
5. F Qi, Y X Leng, H Sun, and N Huang, IEEE Trans. Plasma Sci. 37 (2009) 1136.
6. Z Zhang and C Noguez, Plasmonics 3 (2008)127.
7. K Lance Kelly, E Coronado, L Zhao, and G C Schatz, J. Phys. Chem. B 107 (2003) 668.
8. F Hong-Liang, G Xiao-Yong, Z Zeng-Yuan, and M Jiao-Min, J. Korean Phys. Soc. 56 (2010) 1176