نویسنده

• حامد نجفی آشتیانی

دانشکده علوم پایه، دانشگاه ولایت، ایرانشهر

چکیده

در این تحقیق لایه­ های نازک اکسید مولیبدن به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا در پالس ­های مختلف با طول 60، 90، 120، 150 و 180 میکروثانیه بر روی زیرلایه ­های شیشه ­ای در ترکیبی از گازهای واکنشی و غیرواکنشی با نسبت O2/Ar= 0.66 ‌لایه‌نشانی شده‌اند و مورد مطالعه ساختاری و اپتیکی قرار گرفته ­اند. ترکیب شیمیایی این اکسیدهای فلزی با آنالیز طیف­ سنجی فوتوالکترون پرتوی‌ ایکس (XPS) تعیین و به صوررت MoOx با x های مختلف مشخص شدند. با بررسی خواص اپتیکی مشخص گردید که نقصان اکسیژن در پالس­ه ای طولانی­ تر موجب کاهش متوسط عبور اپتیکی و همچنین کاهش گاف نوار اپتیکی لایه ­ها می­شود.

کلیدواژه‌ها

• کندوپاش مغناطیسی
• لایه نازک
• اکسید مولیبدن
• خواص اپتیکی

عنوان مقاله [English]

Investigation of pulse width effect on structural and optical properties of molybdenum oxide thin films deposited by HiPIMS

نویسنده [English]

• H Najafi-Ashtiani

چکیده [English]

In this study, molybdenum oxide thin films are deposited by using high power impulse magnetic sputtering (HiPIMS) at different pulses length of 60, 90, 120, 150 and 180 μs on glass substrates in a combination of reactive and non-reactive gases with a ratio of O2/Ar = 0.66. The structural and optical properties of these coatings are studied. The chemical composition of these metal oxides is determined by analyzing X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and are determined by MoOx stoichiometry with different x-values. By studying the optical properties, it is found that the oxygen deficiency with increasing pulse width cause to reduce the average of optical transmittance and also decrease the optical band gap of coatings.

کلیدواژه‌ها [English]

• magnetron sputtering
• thin film
• molybdenum oxide
• Optical properties