نویسندگان

• مجید زارعی
• محمد الماسی‌کاشی
• عبدالعلی رمضانی
• غفار ترکاشوند

دانشگاه کاشان

چکیده

نانوحسگرهای رطوبت بر اساس نانو حفره‌های آلومینا به روش جدید آندیزاسیون سخت مطالعه شد. برای بررسی اثر میزان آنیون‌های اسیدی موجود در قسمت‌های مختلف آلومینا بر حساسیت نانوحسگر، دو نوع حسگر دیواره و لایه سدی در دو چگالی جریان متفاوت با ولتاژهای آندیزاسیون 38 و 44 ولت ساخته شد. اثر فرکانس در بازه 3 تا 40 کیلوهرتز در ولتاژهای مختلف و در دامنه‌های رطوبت نسبی 40 تا 90 درصد بر حساسیت و زمان‌های پاسخ و بازیافت نانو حسگرها به روش طیف سنجی امپدانس در دمای اطاق بررسی شده است. نشان داده شد که حسگرهای لایه سدی و حسگرهای ساخته شده با جریان آندیزاسیون بالاتر، دارای حساسیت بیشتری می‌باشند. همچنین مشاهده شد که حساسیت با فرکانس نسبت عکس داشته و تغییر ولتاژ اعمالی به حسگر اثری بر حساسیت آن ندارد.

کلیدواژه‌ها

• نانو حسگر
• آلومینای حفره دار
• آندیزاسیون سخت

عنوان مقاله [English]

Room temperature humidity sensing using nanoporous alumina template fabricated based on hard anodization technique

نویسندگان [English]

• M Zarei
• M Almasi Kashi
• A Ramazani
• Gh Torkashvand

چکیده [English]

Humidity sensors are fabricated based on nanoporous alumina, using hard anodization technique. In order to investigate the effect of the anion incorporated in the alumina template during anodization, two different kinds of sensors, wall and barrier layer sensor, with various current densities at 38 V and 44 V anodization voltages are fabricated. The effect of frequency measurement, ranging from 3 to 40 kHz, different applied voltages and relative humidity amplitudes (40% to 90%) are investigated using impedance spectrometry at room temperature. Higher sensitivity is seen for the barrier layer sensors as well as for sensors made at higher anodization current density. It is also found that the sensitivity is inversely proportional to the frequency, and also variation of the applied voltage has no effect on the sensitivity.

کلیدواژه‌ها [English]

• nanosensor
• nanoporous alumina
• hard anodization