نویسندگان

1 دانشکده علوم پایه، دانشگاه یزد ، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، سازمان انرژی اتمی، تهران

2 دانشکده علوم پایه، دانشگاه یزد

3 2. پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، سازمان انرژی اتمی، تهران

چکیده

لایه های نازک نانوساختار 2-SnO2 TiOبروی زیرلایه شیشه به روش های باریکه الکترونی و سل ژل ساخته شدند. خواص ساختاری سطح، مورفولوژی و عبوراپتیکی لایه ها توسط پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی و اسپکترومتر UV/VIS/NIR انجام پذیرفت. ضخامت لایه های نازک کمتر از 300 نانومتر اندازه گیری گردید. اندازه دانه ها در روش باریکه الکترونی 20 و در روش سل ژل 30 نانومتر تخمین زده شد. خواص حسگری لایه های نازک نانوساختار در حضور گاز اتانول با آهنگ شارش cc/min 2400، 2000 و 1800 دمای 200درجه سانتیگراد بررسی گردید.

کلیدواژه‌ها

عنوان مقاله [English]

Production of TiO2-SnO2 nano structural thin films prepared by electron beam and sol-gel methods as ethanol sensor

نویسندگان [English]

  • N Beigmohammadi 1
  • Gh Mirjalili 2
  • H Maleki 3

چکیده [English]

Nanostructured TiO2-SnO2 thin-film ethanol sensors have been fabricated on glass substrates using electron beam and sol-gel methods. The surface structure, morphology and optical transmission characteristics of the films were analyzed by X ray diffraction, scanning electron microscopy and UV/VIS/NIR spectrometry. The TiO2-SnO2 films were less than 300 nm thick and consisted of nanocrystallines about 20 nm and 33nm for electron beam and sol-gel methods respectively. The sensing characteristics of TiO2-SnO2 nano structure thin film in electron beam and sol-gel methods, in the flow rate of ethanol at 1800, 2000 and 2400 cc/min at the operating temperature of 200˚C were measured.

کلیدواژه‌ها [English]

  • TiO2-SnO2 nano structure thin film
  • Electron beam evaporation
  • sol gel
  • ethanol sensor

1. F Edelman, H Hahn, S Seifried, Ch Alof, H Hoche, Materials Science and Engineering B 69 (2000) 386. 2. Ch S Moon, H R Kim, G Auchterloni, J Drenna, J H Lee, Sensors and Actuators B 131 (2008) 556. 3. W Zeng, T Liu, Z Wang, Physica E 43 (2010) 633. 4. V Geraldo, L V A Scalvi, M J Saeki, T J Pereira, C V Santilli, Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo 2 ( 2003). 5. Z. M. Shi, L. Yan, Journal of Non-Crystalline Solids 354 (2008) 4654. 6. F. Edelman, H. Hahn, S. Seifried, C. Alof, and et al, Materials Science and Engineering B 69 (2000) 386. 7. Shi Z.M., Yan L., Journal of Non-Crystalline Solids 354 (2008) 4654. 9. M Mehrabian, K Mirabbaszadeh, H Afarideh, Phys. Scr. 88 (2013). 10. J. Tauc, R. Grigorvici, A. Bancu, Phys .Status Solid (1966) 15627. 11. H Ching Lee, W S Hwang, Applied Surface Science 253 (2006) 1889. 12. N Talebian, M R Nilforoushan, Thin Solid Films 518 (2010) 2210. 13. S Ray, P S Gupta, G Singh, Journal of Ovonic Research 6 (2010) 63. 14. S Mahanty, S Roy, S Sen, Journal of Crystal Growth 261 (2004) 77. 15. M H Yeh, W S Hwang, G B Lee, Y M Lu, Materials Transactions 45 (2004) 3318. 16. R J Wu, C Y Chena, M H Chena, Y L Sun, Sensors and Actuators B 123 (2007) 1077. 17. M Parmar, K Rajanna, INTERNATIONAL JOURNAL ON SMART SENSING AND INTELLIGENT SYSTEMS 4 (2011) 710. 18. Z Wen, L Tian mo, Physica B 405 (2010) 1345.

تحت نظارت وف بومی