ساخت لایه های نازک نانو ساختارTiO2-SnO2 تهیه شده به روش های باریکه الکترونی و سل ژل به عنوان حسگر اتانول

بیگ محمدی, نرگس; میرجلیلی, غضنفر; ملکی, هادی

doi:10.29252/ijpr.18.2.235

ساخت لایه های نازک نانو ساختارTiO2-SnO2 تهیه شده به روش های باریکه الکترونی و سل ژل به عنوان حسگر اتانول

نویسندگان

نرگس بیگ محمدی ¹

غضنفر میرجلیلی ²

هادی ملکی ³

¹ دانشکده علوم پایه، دانشگاه یزد ، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، سازمان انرژی اتمی، تهران

² دانشکده علوم پایه، دانشگاه یزد

³ 2. پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، سازمان انرژی اتمی، تهران

https://doi.org/10.29252/ijpr.18.2.235

چکیده

لایه های نازک نانوساختار 2-SnO2 TiOبروی زیرلایه شیشه به روش های باریکه الکترونی و سل ژل ساخته شدند. خواص ساختاری سطح، مورفولوژی و عبوراپتیکی لایه ها توسط پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی و اسپکترومتر UV/VIS/NIR انجام پذیرفت. ضخامت لایه های نازک کمتر از 300 نانومتر اندازه گیری گردید. اندازه دانه ها در روش باریکه الکترونی 20 و در روش سل ژل 30 نانومتر تخمین زده شد. خواص حسگری لایه های نازک نانوساختار در حضور گاز اتانول با آهنگ شارش cc/min 2400، 2000 و 1800 دمای 200درجه سانتیگراد بررسی گردید.

کلیدواژه‌ها

لایه نازک نانوساختار TiO2-SnO2

باریکه الکترونی

سل ژل

حسگر اتانول

عنوان مقاله English

Production of TiO2-SnO2 nano structural thin films prepared by electron beam and sol-gel methods as ethanol sensor

نویسندگان English

N Beigmohammadi ¹

Gh Mirjalili ²

H Maleki ³

چکیده English

Nanostructured TiO2-SnO2 thin-film ethanol sensors have been fabricated on glass substrates using electron beam and sol-gel methods. The surface structure, morphology and optical transmission characteristics of the films were analyzed by X ray diffraction, scanning electron microscopy and UV/VIS/NIR spectrometry. The TiO2-SnO2 films were less than 300 nm thick and consisted of nanocrystallines about 20 nm and 33nm for electron beam and sol-gel methods respectively. The sensing characteristics of TiO2-SnO2 nano structure thin film in electron beam and sol-gel methods, in the flow rate of ethanol at 1800, 2000 and 2400 cc/min at the operating temperature of 200˚C were measured.

کلیدواژه‌ها English

TiO2-SnO2 nano structure thin film

Electron beam evaporation

sol gel

ethanol sensor

1. F Edelman, H Hahn, S Seifried, Ch Alof, H Hoche, Materials Science and Engineering B 69 (2000) 386.
2. Ch S Moon, H R Kim, G Auchterloni, J Drenna, J H Lee, Sensors and Actuators B 131 (2008) 556.
3. W Zeng, T Liu, Z Wang, Physica E 43 (2010) 633.
4. V Geraldo, L V A Scalvi, M J Saeki, T J Pereira, C V Santilli, Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo 2 ( 2003).
5. Z. M. Shi, L. Yan, Journal of Non-Crystalline Solids 354 (2008) 4654.
6. F. Edelman, H. Hahn, S. Seifried, C. Alof, and et al, Materials Science and Engineering B 69 (2000) 386.
7. Shi Z.M., Yan L., Journal of Non-Crystalline Solids 354 (2008) 4654.
9. M Mehrabian, K Mirabbaszadeh, H Afarideh, Phys. Scr. 88 (2013).
10. J. Tauc, R. Grigorvici, A. Bancu, Phys .Status Solid (1966) 15627.
11. H Ching Lee, W S Hwang, Applied Surface Science 253 (2006) 1889.
12. N Talebian, M R Nilforoushan, Thin Solid Films 518 (2010) 2210.
13. S Ray, P S Gupta, G Singh, Journal of Ovonic Research 6 (2010) 63.
14. S Mahanty, S Roy, S Sen, Journal of Crystal Growth 261 (2004) 77.
15. M H Yeh, W S Hwang, G B Lee, Y M Lu, Materials Transactions 45 (2004) 3318.
16. R J Wu, C Y Chena, M H Chena, Y L Sun, Sensors and Actuators B 123 (2007) 1077.
17. M Parmar, K Rajanna, INTERNATIONAL JOURNAL ON SMART SENSING AND INTELLIGENT SYSTEMS 4 (2011) 710.
18. Z Wen, L Tian mo, Physica B 405 (2010) 1345.